綠色碳化矽簡介：
綠色碳化矽（綠色SiC，化學式SiC）是一種高純度合成晶體磨料，以其極高的硬度、鋒利的切割刃和優異的化學/熱穩定性而聞名。它是SiC材料中的頂級產品，常被稱為工業磨料中的「綠色鑽石」。
| 財產 | 綠色碳化矽 |
|---|---|
| 化學式 | 碳化矽 |
| 純度 | 98.5–99.5% SiC（高品位≥99.9%） |
| 莫氏硬度 | 9.2–9.5（接近菱形） |
| 顯微硬度 | 3200–3600 kg/mm² |
| 密度 | 3.22 克/立方厘米 |
| 熱導率 | 80–140 W/m·K（散熱性能優異） |
| 熱膨脹 | 低的 |
| 熔點 | 約2700°C |
| 化學穩定性 | 對水、酸、鹼和大多數溶劑呈惰性 |
| 顆粒形狀 | 鋒利、塊狀、多面體；良好的自銳性 |
綠色碳化矽在晶圓研磨上的優勢
- 卓越的硬度和切削性能綠色碳化矽的莫氏硬度為9.2-9.5，比單晶矽硬得多。它具有鋒利的顆粒邊緣和優異的自銳化能力，能夠以高材料去除率高效去除晶圓表面的痕跡和損傷層。
- 粒徑均勻，表面品質優異嚴格分級的細粉具有粒徑分佈窄、團聚率低的特性。它能產生細小的淺刮痕，而非深切口、崩裂或凹坑，有效控製表面下損傷，確保研磨效果的一致性。
- 優異的化學和熱穩定性它對水、常用研磨漿料和酸/鹼添加劑具有化學惰性，不會腐蝕矽片。在摩擦生熱的情況下，它能保持穩定的硬度和顆粒形狀，並且其良好的導熱性能夠快速散熱，避免矽片熱變形。
- 用於半導體應用的高純度與黑色碳化矽相比，其重金屬和雜質含量較低。它不會造成電氣污染，完全滿足半導體和光伏晶片生產的高純度要求。
- 良好的耐磨性和成本效益低磨損率延長了使用壽命。與鑽石粉末相比，它更具成本效益，同時保持了可靠的研磨性能，是大量生產的理想選擇。該粉末在漿料中懸浮性良好，減少了換液頻率。
- 中等韌性其均衡的脆性和韌性可防止過多的細小碎屑嵌入晶圓表面，從而簡化後續的清洗過程。它兼容各種研磨墊和設備，適用於單面/雙面研磨、邊緣倒角等工藝。