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用於半導體矽片拋光的綠色碳化矽

將高純度GC微粉與去離子水或PEG載液混合,製成懸浮拋光漿料。在研磨盤與矽片之間的壓力下,GC顆粒滾動並微切割矽片表面,均勻去除不規則峰,實現表面平整,且不會造成晶格深度破壞。

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綠色碳化矽研磨粉的優點

綠色碳化矽(也寫綠色SiC)是一種高純度合成磨料,由優質石英砂、石油焦和工業鹽經高溫電爐冶煉製成。它呈綠色結晶粉末或塊狀,顆粒尖銳且棱角分明。

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